一种用于Aixtron2800G4设备的局部管路系统
基本信息
| 申请号 | CN201822231739.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209685910U | 公开（公告）日 | 2019-11-26 |
| 申请公布号 | CN209685910U | 申请公布日 | 2019-11-26 |
| 分类号 | C23C16/44（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张超奇 | 申请（专利权）人 | 陕西飞米企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 西安弘理专利事务所 | 代理人 | 谈耀文 |
| 地址 | 710000 陕西省铜川市高新区发展大道18号飞秒研发办公楼107室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于Aixtron2800G4设备的局部管路系统，包括Aixtron 2800 G4的过滤器，过滤器的输出端通过管道d连接泵b；泵b为抽Aixtron 2800 G4设备中反应腔内气体的泵；泵b通过管道c与排风连接。本实用新型降低了设备运行时的故障率，同时降低了设备维修保养成本。 |
