一种利用原子层沉积装置制备氟化石墨烯的方法
基本信息
| 申请号 | CN201310056762.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103086374B | 公开（公告）日 | 2014-07-23 |
| 申请公布号 | CN103086374B | 申请公布日 | 2014-07-23 |
| 分类号 | C01B31/04(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 林时胜;董策舟 | 申请（专利权）人 | 杭州格蓝丰科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人 | 杭州格蓝丰纳米科技有限公司;浙江大学 |
| 地址 | 310027 浙江省杭州市西湖区西溪路525号C楼428室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开的利用原子层沉积装置制备氟化石墨烯的方法，主要包括将石墨烯通过转移基底放置在原子层沉积装置的支撑架上，利用玻璃金属转换件内氟化剂的蒸发进入原子层沉积装置的腔体，并使得石墨烯吸附氟原子，实现氟化石墨烯的可控制备。该方法工艺流程完全可控，操作简单方便，特别适合于氟化石墨烯的大规模工业化生产，制备的氟化石墨烯在纳米电子器件、润滑材料、大容量锂电池等领域具有广泛的应用前景。 |
