提高电铸微流控镍模具寿命的方法及电铸微流控镍模具
基本信息
| 申请号 | CN201610772529.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106222708A | 公开（公告）日 | 2016-12-14 |
| 申请公布号 | CN106222708A | 申请公布日 | 2016-12-14 |
| 分类号 | C25D1/10(2006.01)I | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 郭哲;刘祝凯;许斌;李晓龙;胡在兵 | 申请（专利权）人 | 北京同方华光系统工程有限公司 |
| 代理机构 | 北京亿腾知识产权代理事务所 | 代理人 | 陈霁 |
| 地址 | 101500 北京市密云县密云经济技术开发区水源路4号清华同方信息综合楼202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种提高电铸微流控镍模具的方法，包括：根据微流控设计的图形，设计、制备负性掩模板；在衬底上旋涂负性光刻胶；利用所述负性掩模板对所述衬底上的光刻胶进行曝光、显影处理；对显影处理后得到的光刻胶图形进行表面金属化处理；将表面金属化的光刻模具进行电铸处理，得到电铸模具；将所述电铸模具进行减薄打磨处理，获得所需电铸微流控镍模具。本方法通过合理设计安排电铸微流控镍模具中镍板的厚度，再借助精密打磨设备，将电铸出的镍模具背部打磨平，借助此方法增强了镍模具的机械强度，大大提高了微流控镍模具的寿命，节约了模具制备成本，间接提高了微流控芯片的片间均匀性。 |
