一种电铸模具及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201610122272.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105734619A | 公开（公告）日 | 2016-07-06 |
| 申请公布号 | CN105734619A | 申请公布日 | 2016-07-06 |
| 分类号 | C25D1/10(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 郭哲;刘祝凯;许斌;梁刚;李晓龙 | 申请（专利权）人 | 北京同方华光系统工程有限公司 |
| 代理机构 | 北京亿腾知识产权代理事务所 | 代理人 | 陈霁 |
| 地址 | 101500 北京市密云县密云经济技术开发区水源路4号清华同方信息综合楼202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种电铸模具的制备方法，在一个实施例中，所述方法包括：根据微流控设计的图形，设计负性掩模板；在衬底上旋涂负性光刻胶；利用所述负性掩模板对所述衬底上的光刻胶进行曝光处理；对所述曝光处理后的光刻胶进行显影处理，得到光刻胶图形；对所述光刻胶图形进行表面金属化处理；对所述表面金属化的光刻图形进行电铸处理，得到电铸模具；将所述电铸模具在碱性溶液中浸泡，获得去除光刻胶的电铸模具。该方法主要是针对光刻胶与电铸模具如何剥离进行改进。借助此方法可以快速、高效的制备出表面光洁、无损伤的金属模具，在很大程度上提高了电铸模具与光刻胶的剥离效率，以及电铸模具的质量。 |
