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一种铝钛硼靶材及其粉末固相合金化烧结方法

基本信息

申请号 CN202010398120.7 申请日 -
公开（公告）号 CN111455329A 公开（公告）日 2020-07-28
申请公布号 CN111455329A 申请公布日 2020-07-28
分类号 C23C14/34(2006.01)I 分类 -
发明人 余琨;余鹏 申请（专利权）人 长沙迅洋新材料科技有限公司
代理机构 长沙轩荣专利代理有限公司 代理人 长沙迅洋新材料科技有限公司;湖南汇动新材料有限公司
地址 410000湖南省长沙市雨花区振华路109号康庭园项目20号栋四楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种铝钛硼靶材及其粉末固相合金化烧结方法，包括以下步骤：步骤1：称量、混合；步骤2：球磨机械合金化；步骤3：热压烧结；步骤4：脱模；步骤5：退火处理；步骤6：锻造。本发明将高含量的钛和硼加入到铝基体中制成铝钛硼合金靶材，其中，钛的含量可以高达80％，硼的含量可以高达20％；在铝钛硼三元合金的基础上，还可以加入其它组元获得更多组元的合金靶材；由于采用较低温度和较大压力的固相烧结方法，避免了低熔点合金元素的熔化和流动，通过扩散作用，实现高熔点元素与低熔点元素之间的合金化；本发明工艺流程短，产品质量稳定，生产成本低，适合批量化生产。