LCOS生产设备的洁净装置

基本信息

申请号 CN201921769395.6 申请日 -
公开(公告)号 CN210966172U 公开(公告)日 2020-07-10
申请公布号 CN210966172U 申请公布日 2020-07-10
分类号 B08B5/02(2006.01)I 分类 -
发明人 殷雪敏 申请(专利权)人 东莞慧新辰电子科技有限公司
代理机构 深圳市壹品专利代理事务所(普通合伙) 代理人 东莞慧新辰电子科技有限公司
地址 523681广东省东莞市凤岗镇五联村碧湖工业区金麒路一号C栋801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及LCOS生产洁净的技术领域,公开了LCOS生产设备的洁净装置,包括输入结构、洁净吹淋结构及输出结构,洁净吹淋结构处于输入结构与输出结构之间;洁净吹淋结构包括具有输入口和输出口的洁净盒及洁净器,洁净器输送洁净风,洁净盒包括开启或关闭输入口的输入门及开启或关闭输出口的输出门,输入门开启时,输入结构与输入口呈连通布置,输出门开启时,输出结构与输出口呈连通布置。输入结构将LCOS输送至洁净盒的内部,输入门和输出门分别呈关闭,洁净盒输送洁净风吹刷LCOS,洁净吹淋处理后,仅输出门开启,LCOS输送至输出结构,输送至外部,实现自动化洁净吹淋处理,减少人力物力投入,降低生产成本;降低对材料的污染,提高LCOS产品的生产质量。