一种光伏电池电极的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110229007.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112993087A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112993087A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L31/0224 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 姚宇;李中天 | 申请（专利权）人 | 苏州太阳井新能源有限公司 |
| 代理机构 | 苏州吴韵知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王铭陆 |
| 地址 | 215127 江苏省苏州市吴中区甪直镇凌港路128号3幢4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种光伏电池电极的制作方法，包括以下步骤：将含光敏成分的液态掩膜材料沉积到表面为介质层或透明导电氧化物或导电种子层的光伏器件的表面上；将所述掩膜材料的部分区域暴露在激光下，其中曝光的区域发生化学反应；显影以使未曝光区域的掩膜材料从光伏器件的表面去除，使得介质层或透明导电氧化物或导电种子层暴露，从而形成掩膜材料的局部开口；刻蚀介质层使半导体层暴露在开口位置，进而通过电化学沉积的方式将导电材料附着到开口位置的半导体表面；或在开口的透明导电氧化物或导电种子层上通过电化学沉积的方式将导电材料附着到局部开口的光伏器件表面上；去除表面的掩膜材料。 |
