一种精密芯片检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202110989373.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113567467A | 公开（公告）日 | 2021-10-29 |
| 申请公布号 | CN113567467A | 申请公布日 | 2021-10-29 |
| 分类号 | G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 晁阳升;蔡浪滔;王宇峰;梁永鑫 | 申请（专利权）人 | 湖南奥创普科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京易捷胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张珍珍;李丽敏 |
| 地址 | 410000湖南省长沙市高新开发区岳麓西大道588号芯城科技园2栋7楼7011房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种精密芯片检测设备，其包括基座、校正装置、顶升装置和检测系统。校正装置包括校正安装机构、转盘机构和定位相机。顶升装置包括顶升安装机构、顶针和伸缩机构。检测系统包括顶面检测相机和相对设置的第一检测装置和第二检测装置，第一检测装置和第二检测装就用于芯片的检测。校正装置对芯片的位置进行校正，并通过定位相机对芯片的位置进行确认和记录，便于后续进行顶面检测和运送机构定位吸附。顶升装置利用顶针的向上顶升力使芯片脱离薄膜，以便于运送机构吸附并输送至检测系统中。第一检测装置和第二检测装置共用转盘机构作为料仓，两者之间相互独立运行，分别对顶面检测完成的芯片进行端面和底面检测，有效地提高了检测效率。 |
