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红外焦平面探测器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201710600470.5 申请日 -
公开（公告）号 CN108987523A 公开（公告）日 2018-12-11
申请公布号 CN108987523A 申请公布日 2018-12-11
分类号 H01L31/103;H01L31/18;H01L27/144 分类 基本电气元件;
发明人 白谢晖 申请（专利权）人 浙江英孚莱德光电科技有限公司
代理机构 北京清源汇知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 北京弘芯科技有限公司;北京英孚雷德光电科技有限公司
地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼401-2
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种红外焦平面探测器，其包括硅片衬底、复数个红外探测单元构成的红外探测器阵列、硅读出电路、以及复数个铟柱；红外探测器阵列设置于所述硅片衬底的其中一侧；复数个铟柱设置于红外探测器阵列和硅读出电路之间，将红外探测器阵列的每一红外探测单元和硅读出电路相连。本发明还提供一种红外焦平面探测器的制备方法。本发明的红外焦平面探测器不仅解决了现有的红外焦平面探测器由于红外探测器阵列和硅读出电路两部分的材料不同导致热膨胀系数不同引起的红外焦平面探测器使用寿命短，使用成本高的问题，而且其结构简单，易实现，制造成本低，且减少了对入射的红外辐射的反射和吸收，提高了进光量。