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一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构

基本信息

申请号	CN201910985856.1	申请日	-
公开（公告）号	CN112683404A	公开（公告）日	2021-04-20
申请公布号	CN112683404A	申请公布日	2021-04-20
分类号	G01J5/04(2006.01)I;F16L59/065(2006.01)I;G01J5/02(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	董硕	申请（专利权）人	浙江英孚莱德光电科技有限公司
代理机构	北京清源汇知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	冯德魁
地址	100102北京市朝阳区利泽中一路1号院1号楼2层202B号东515
法律状态	-

摘要

本申请公开了一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，包括真空绝热套为双层内真空结构，在其一端设置有光学窗口，在光学窗口相对端设置有开口；芯柱为柱状；芯柱一端通过真空绝热套的开口伸入真空绝热套内部空间，另一端与真空绝热套外壳密封贴合；红外探测器芯片粘贴于芯柱伸入绝热套内部空间的一端端部。真空绝热套为双层内真空结构，保证了杜瓦真空度在长时间内保持稳定。红外探测器组件工作在惰性气体环境下，红外探测器芯片粘接到芯柱上面的冷板上所采用的胶的放气不会对杜瓦的真空度产生影响。上述两种因素保证了杜瓦真空度在长时间内保持稳定，使得此种红外探测器组件，相较于传统真空杜瓦封装的红外探测器组件使用和存储寿命都能明显增加。