一种晶片清洗装置

基本信息

申请号 CN202022758267.0 申请日 -
公开(公告)号 CN213278031U 公开(公告)日 2021-05-25
申请公布号 CN213278031U 申请公布日 2021-05-25
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 -
发明人 陈康;徐兴华;鲍旭伟;唐多 申请(专利权)人 金华市创捷电子有限公司
代理机构 金华市悦诚君创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 余威
地址 321000浙江省金华市婺城区仙华南街777号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶片清洗装置,包括机体,所述机体的顶部外壁设置有进料口,进料口的一侧内壁设置有两个导向辊;所述机体的顶部内壁设置有两个导向软板;所述机体的一侧外壁通过顶板固定有电机,机体的一侧内壁设置有两个滚动轮,两个滚动轮的外壁设置有同一个传送带,传送带的外壁设置有两个固定座,两个固定座的一侧内壁均设置有四个以上的弹簧,四个以上的弹簧另一端均设置有同一个夹持座,两个夹持座的内壁均设置有四个以上的橡胶辊;所述机体的一侧内壁设置有清洗结构;所述清洗结构包括两个液体箱和两个清洗组件。本实用新型晶片在传送带的不断输送下,可一直不断投料进行清洁处理工作,有效的提高了清洁晶片的效率。