蒸镀设备
基本信息
| 申请号 | CN202023038319.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214327861U | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN214327861U | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨然翔;徐瑞林;陈旋宇;王怀超 | 申请（专利权）人 | 重庆康佳光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 霍文娟 |
| 地址 | 402760重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括壳体、加热设备、承载结构和阻挡结构，其中，壳体具有蒸镀腔；加热设备位于蒸镀腔内，加热设备包括蒸汽出口，加热设备用于加热材料形成蒸汽；承载结构位于蒸镀腔内且位于加热设备的一侧，承载结构用于承载晶圆；阻挡结构包括承载件和位于承载件上的第一晶振片，阻挡结构具有第一位置和第二位置，蒸镀开始前，阻挡结构位于第一位置以遮挡蒸汽出口，且第一晶振片位于承载件的朝向加热设备的一侧，在通过第一晶振片检测到蒸镀处于稳定状态时，阻挡结构从第一位置转变为第二位置以避让蒸汽出口。该蒸镀设备实现了蒸镀初期对蒸镀稳定情况的监控，保证了经阻挡结构避让后沉积到晶圆表面上的材料较为均匀。 |
