一种硅片抛光装置及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202111298164.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114131492A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114131492A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | B24B29/02（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B55/00（2006.01）I;B08B1/04（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 杨阳;杨振华;季富华;管家辉 | 申请（专利权）人 | 弘元绿色能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张燕平 |
| 地址 | 214100江苏省无锡市滨湖区雪浪街道南湖中路158号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片抛光装置及其使用方法。一种硅片抛光装置及其使用方法，包括加工外壳，加工外壳的两端均固定有立柱，两个立柱的顶端装配有一个固定下压机构，固定下压机构用于固定硅片并带动硅片进行移动，加工外壳内部中心处固定有电动机一。本发明通过除胶组件的结构设计，使得装置在更换抛光垫的时候能够方便快捷的对固定底盘上残留的胶体进行清洗，避免影响更换后的抛光垫的牢固度，也避免因为残留胶体导致更换的抛光垫会有凸起影响抛光；通过清理组件的结构设计，使得装置在清洗因抛光液残留物形成的沉淀物时，较为方便快捷。 |
