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一种硅片的制造装置及其使用方法

基本信息

申请号 CN202111298169.6 申请日 -
公开（公告）号 CN114199165A 公开（公告）日 2022-03-18
申请公布号 CN114199165A 申请公布日 2022-03-18
分类号 G01B11/30（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 杨阳;杨振华;季富华;管家辉 申请（专利权）人 弘元绿色能源股份有限公司
代理机构 北京睿博行远知识产权代理有限公司 代理人 张燕平
地址 214100江苏省无锡市滨湖区雪浪街道南湖中路158号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅片的制造装置及其使用方法，涉及硅片制造技术领域。本发明包括机身主体，还包括有：硅片固定机构，用以对硅片进行自动定位和固定；硅片固定机构包括有硅片吸附机构，硅片吸附机构用以对硅片进行固定，硅片吸附机构配套设置有硅片定位机构；转动机构，用以带动硅片固定机构进行转动；硅片检测机构，用以对硅片的平整度进行检测。本发明通过各个配件的配合，能够自动对硅片进行定位和吸附，并通过带动硅片进行匀速转动，配合硅片检测机构能够有效的对硅片侧壁的平整度进行检测，有效的避免了因为硅片偏位而导致的检测结果出现错误，从而大大的提升了检测的准确率，且检测的难度较低，为使用者带来极大的便利。