用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置
基本信息
| 申请号 | CN202110284872.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113020165A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113020165A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | B08B9/087;B08B15/04 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 刘永龙;杜学敏;常永强;张治国 | 申请（专利权）人 | 呼和浩特市洪润环祥科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 覃曼萍 |
| 地址 | 010070 内蒙古自治区呼和浩特市金桥开发区阿木尔南街中晶研究院办公楼一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，其用于清理石墨加热器，包括底座、环形旋转件、内壁清理机构、外壁清理机构和吸尘机构，环形旋转件设置于所述底座上，其上设置有用于固定石墨加热器的固定部，其接受驱动以自转；内壁清理机构包括多个竖向布置的第一条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的内侧；外壁清理机构包括多个竖向布置的第二条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的外侧；吸尘机构的抽吸口位于所述内壁清理机构和外壁清理机构之间。本发明提供的用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，通过内壁清理机构和外壁清理机构实现对石墨加热器自动清理，不需要操作人员手工清理，提升清理效率。 |
