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一种离子泵新型短抽口结构

基本信息

申请号 CN202011559027.6 申请日 -
公开（公告）号 CN112768337A 公开（公告）日 2021-05-07
申请公布号 CN112768337A 申请公布日 2021-05-07
分类号 H01J41/12(2006.01)I;F04B39/12(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 郑主安 申请（专利权）人 上海三井光中真空设备股份有限公司
代理机构 上海互顺专利代理事务所（普通合伙） 代理人 裴姣姣
地址 201708上海市青浦区华新镇华强街675号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种离子泵新型短抽口结构，涉及离子泵的技术领域，包括离子泵泵体，离子泵泵体的泵腔为真空腔体，真空腔体内设有抽气单元，在离子泵泵体顶部向下开设有缺口；短抽气管道，短抽气管道沿竖向装配在离子泵泵体顶部，短抽气管道下端开口与真空腔体相连通，短抽气管道的顶部设有环形凸台；松套法兰，松套法兰可转动的套设在短抽气管道上。本发明的离子泵新型短抽口结构的离子泵泵体上开设缺口，增加了螺栓的操作空间，螺栓能够在缺口内向上插入松套法兰的螺栓孔中，进而能够缩短短抽气管道的长度，同时保证缺口和松套法兰之间的距离足够螺栓摆正螺栓，在缩短短抽气管道的长度后能够大大提高抽气管道的流导，显著提高了离子泵的抽速。