一种溅射离子泵烘烤装置
基本信息
| 申请号 | CN202011559631.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112815630A | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN112815630A | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | F26B5/04;F26B9/06;F26B23/06;F26B25/00;F26B25/12 | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 郑主安 | 申请（专利权）人 | 上海三井光中真空设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海互顺专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 裴姣姣 |
| 地址 | 201708 上海市青浦区华新镇华强街675号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种溅射离子泵烘烤装置，包括离子泵泵体，离子泵泵体的泵腔为真空腔体，真空腔体内设有抽气单元，离子泵泵体上端中部固定安装有抽气通道，且抽气通道与真空腔体内部相通，抽气通道上端固定连接有真空法兰，离子泵泵体的真空腔体内部设有烘烤加热器。本发明的溅射离子泵烘烤装置将烘烤加热器置于离子泵泵体的泵腔内部，烘烤加热器直接对内泵体内壁烘烤加热，烘烤效率高，且烘烤加热器远离磁体，磁体不易高温退磁，这种就可以选用磁性更强而耐温稍低的磁体，溅射离子泵的烘烤加热器位于离子泵泵体的泵腔内部，对抽气单元的烘烤加热效果显著提高。 |
