一种改进的低温真空炉工件托盘

基本信息

申请号 CN201921849553.9 申请日 -
公开(公告)号 CN211084790U 公开(公告)日 2020-07-24
申请公布号 CN211084790U 申请公布日 2020-07-24
分类号 F27B5/05(2006.01)I 分类 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕;
发明人 周琪;叶祥 申请(专利权)人 上海三井光中真空设备股份有限公司
代理机构 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 代理人 成秋丽
地址 201708 上海市青浦区华新镇华强街675号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种改进的低温真空炉工件托盘,涉及真空炉工件托盘的技术领域,包括真空炉体、工件托盘、冷却水管和连接法兰,冷却水管为一体式结构,冷却水管包括依次相连通的进水管、冷却管和出水管,工件托盘的底部布置有冷却管,进水管和出水管均贯穿真空炉体,进水管和出水管均通过连接法兰与真空炉体密封连接。本实用新型的改进的低温真空炉工件托盘通过冷却水管对工件托盘先进行冷却,再让工件托盘通过热传递对产品进行冷却,显著加快产品的冷却速度。