样片自动清洗蚀刻装置
基本信息
| 申请号 | CN202020178346.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211238178U | 公开（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申请公布号 | CN211238178U | 申请公布日 | 2020-08-11 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 巫海苍;周颖聪;宋一品;梁寒潇 | 申请（专利权）人 | 苏州极刻光核科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京卓唐知识产权代理有限公司 | 代理人 | 崔金 |
| 地址 | 215123江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区5幢102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型申请公开了一种自动清洗蚀刻装置，包括，底座和支架；烧杯架、旋转轴和驱动单元，所述烧杯架通过所述旋转轴与所述驱动单元连接，所述驱动单元通过支架与所述底座连接；花篮，设置在所述底座上方，与所述驱动单元连接的用于承载样片的容器；所述烧杯架上至少承载2个烧杯，所述驱动单元通过所述旋转轴带动所述烧杯架上的烧杯旋转至花篮下方，所述花篮在所述驱动单元的带动下置入所述烧杯中，并与烧杯中的液体发生反应。本实用新型申请解决了由于非标尺寸的样片因无法应用现有设备进行批量处理而采用人工操作，造成的费时费力、成本高、安全系数低以及无法标准化流程的技术问题。 |
