芯片测试装置和系统
基本信息
| 申请号 | CN202020178180.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211826357U | 公开（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申请公布号 | CN211826357U | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 巫海苍;周颖聪;宋一品;梁寒潇 | 申请（专利权）人 | 苏州极刻光核科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京卓唐知识产权代理有限公司 | 代理人 | 崔金 |
| 地址 | 215123江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区5幢102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种芯片测试装置和系统。该芯片测试装置包括：两个探针机构、两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台；两个探针机构和两个耦合机构均对称设置在载物台的两侧；探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测待测芯片的电极探针；电极探针连接在探针支架的第一端，探针支架的第二端连接在多自由度驱动座上；耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对待测芯片传输光信号的光纤，光纤夹持在光纤夹具上端，光纤夹具连接在多自由度驱动座上；以使多自由度驱动座驱动光纤夹具或电极探针以多自由度移动，并使光纤或电极探针接触或远离待测芯片。本申请可以解决相关技术中无法稳定地对芯片进行检测的技术问题。 |
