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热光型相位调制模块及光调制器

基本信息

申请号 CN202110721893.9 申请日 -
公开（公告）号 CN113359328A 公开（公告）日 2021-09-07
申请公布号 CN113359328A 申请公布日 2021-09-07
分类号 G02F1/01 分类 光学;
发明人 梁寒潇;宋一品;周颖聪;巫海苍;毛文浩;宋时伟;孙维祺;俞清扬 申请（专利权）人 苏州极刻光核科技有限公司
代理机构 北京市汉坤律师事务所 代理人 王其文;张涛
地址 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区5幢102室
法律状态 -

摘要

摘要 提供一种热光型相位调制模块及光调制器，涉及光通信技术领域。热光型相位调制模块包括：衬底；隔离层，位于衬底之上；第一波导，位于隔离层之上；及至少一个加热元件，位于隔离层之上，并且与第一波导在垂直于衬底底面的方向上无交叠；其中，热光型相位调制模块具有自顶面向下延伸并且曝露出衬底的多个侧部隔热槽，多个侧部隔热槽围绕第一波导和所述至少一个加热元件排列。本公开实施例技术方案可以提高热光型相位调制模块的调制效率，进而提高光调制器的调制效率。