端面耦合器和半导体器件
基本信息
| 申请号 | CN202110077861.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112904481A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112904481A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | G02B6/122;G02B6/26 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 梁寒潇;宋一品;周颖聪;巫海苍;毛文浩;宋时伟;孙维祺;俞清扬 | 申请（专利权）人 | 苏州极刻光核科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京市汉坤律师事务所 | 代理人 | 初媛媛;吴丽丽 |
| 地址 | 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区5幢102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种端面耦合器和半导体器件。端面耦合器包括：衬底，该衬底中具有凹槽；隔离层，位于衬底上；覆盖层，位于隔离层上；第一光波导，位于凹槽上方并且包括隔离层的一部分和覆盖层的一部分；以及第二光波导，位于覆盖层内并且关于第一光波导的中心轴线对称地形成，第二光波导包括第一子光波导和第二子光波导，第二子光波导形成于第一子光波导上并且与第一子光波导对准。第一子光波导包括依次连接的第一渐变区域、第一线性区域、第二渐变区域和平板区域。第二子光波导包括依次连接的第三渐变区域和第二线性区域。 |
