绝缘结构和镀膜设备

基本信息

申请号 CN202121066304.X 申请日 -
公开(公告)号 CN214937780U 公开(公告)日 2021-11-30
申请公布号 CN214937780U 申请公布日 2021-11-30
分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 史建国;龚妙峰;曾永华 申请(专利权)人 天津旗滨节能玻璃有限公司
代理机构 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 代理人 陈文斌
地址 517000广东省河源市东源县蓝口镇土坡、角塘、车头山村
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种绝缘结构和镀膜设备,其中,绝缘结构用于镀膜设备,镀膜设备内设有溅射底板和皮带盖板,绝缘结构夹设于溅射底板和皮带盖板之间。绝缘结构包括绝缘主体和绝缘凸块,绝缘主体的一表面形成有凹槽,绝缘凸块设于凹槽的槽底壁,且绝缘凸块至少部分显露于凹槽的槽口。本申请提供的绝缘结构可以增大金属分子导通溅射底板与皮带盖板所需覆盖的面积,延长绝缘结构的作用时间,提高绝缘效果和产品的合格率。