一种刻蚀机用刻蚀平台
基本信息
| 申请号 | CN202023347394.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214175969U | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN214175969U | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 廖海涛 | 申请（专利权）人 | 江苏邑文微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈平 |
| 地址 | 226400江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及升降平台技术领域，具体为一种刻蚀机用刻蚀平台，包括液压升降杆、平台底架、与移动平台；所述的液压升降杆上端设置有移动平台，所述移动平台下端表面与液压升降杆一端固定连接，所述液压升降杆下端设置有平台底架，所述平台底架上端表面与液压升降杆另一端固定连接，通过导向轴组件的设置，使得移动平台与导向轴组件滑动连接，平台底架通过地脚螺栓与机架固定连接，使得整体架构更加稳定，平台底架与移动平台通过液压升降杆配合连接，使得液压升降杆在工作过程中，移动板可上下移动，加工件放在移动板上高度可调节。 |
