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一种半导体刻蚀设备的故障检测装置

基本信息

申请号 CN202021081790.8 申请日 -
公开（公告）号 CN213022912U 公开（公告）日 2021-04-20
申请公布号 CN213022912U 申请公布日 2021-04-20
分类号 G01N21/956(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 廖海涛 申请（专利权）人 江苏邑文微电子科技有限公司
代理机构 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） 代理人 朱建
地址 226000江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体刻蚀设备的故障检测装置，涉及到半导体刻蚀设备用故障检测领域，包括检测台，所述检测台的顶侧固定安装有两个支撑柱，两个支撑柱的顶侧均开设有伸缩槽，两个伸缩槽内均滑动安装有伸缩柱，两个伸缩柱的顶侧分别延伸至两个伸缩槽外并均固定安装有横杆。本实用新型结构合理，可通过滑动控制块来带动两个激光发射笔水平移动，从而可以同时对两个半导体进行对比采集数据，采集到的数据通过处理中心进行分析对比，最终可自动得出半导体刻蚀设备出现故障的位置，不再需要人工肉眼来进行观察对比，可有效避免人工视觉误差而导致误判故障，提高了检测的速度和准确性。