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一种等离子刻蚀设备腔体气体流向控制桶

基本信息

申请号 202021056700X 申请日 -
公开（公告）号 CN212411996U 公开（公告）日 2021-01-26
申请公布号 CN212411996U 申请公布日 2021-01-26
分类号 H01J37/02(2006.01)I; 分类 基本电气元件;
发明人 廖海涛 申请（专利权）人 江苏邑文微电子科技有限公司
代理机构 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） 代理人 邢若兰
地址 226400江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种等离子刻蚀设备腔体气体流向控制桶,包括桶体，所述桶体的侧壁设置有出气口，所述出气口的侧壁固定连接有第二转轴，所述第二转轴的表面活动连接有皮带，所述桶体的顶端固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第二转轴的侧壁固定连接有固定架，所述固定架的内部固定连接有旋转辊，所述旋转辊的正面固定连接有导流板，所述旋转辊的正面且位于导流板的一侧固定连接有第二齿轮，所述固定架的顶端固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮的表面活动连接有链条。本实用新型，可以带动固定固定架进行旋转到合适的位置后通过导流板进行控制气体的流向，使用方便。