一种深度等离子刻蚀机
基本信息
| 申请号 | CN202023349458.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214175970U | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN214175970U | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 廖海涛 | 申请（专利权）人 | 江苏邑文微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈平 |
| 地址 | 226400江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及等离子刻蚀机技术领域，具体为一种深度等离子刻蚀机，包括安装基座与驱动机构，所述的安装基座的两侧安装有连接脚件；所述的所述的安装基座上安装有放置箱体，所述的放置箱体的两侧设置有滑槽，所述的驱动机构通过连接脚件转动连接在安装基座的两侧，通过螺纹杆底部安装轴承的设置，使得螺纹杆能够在连接脚件上固定方向上转动，避免螺纹杆在转动时发生偏移，同时通过螺纹杆底部安装轴承的设置，使得螺纹杆在转动过程中更加流畅，避免卡顿，有效避免压板与放置箱体发生碰撞，保证刻蚀机硅片能够在放置箱体内部整体压紧。 |
