一种固晶机用抑振机构
基本信息
申请号 | CN202220410477.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN217002866U | 公开(公告)日 | 2022-07-19 |
申请公布号 | CN217002866U | 申请公布日 | 2022-07-19 |
分类号 | F16F15/02(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I | 分类 | 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热; |
发明人 | 丁琛琦 | 申请(专利权)人 | 马丁科瑞半导体技术(南京)有限公司 |
代理机构 | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | - |
地址 | 211100江苏省南京市江宁区空港经济开发区飞天大道69号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供一种固晶机用抑振机构,包括固定本体、配重块以及直线电机,直线电机固定在固定本体上,配重块固定在直线电机上,配重块与固定本体通过滑轨连接,固定本体上固定有读数头,配重块设有光栅尺,读数头设置在光栅尺的上方,固定本体上还固定有光电开关,配重块朝向光电开关的一端还固定有挡光片。本实用新型通过配重块在Y方向上移动产生的驱动力,抵消固晶机贴装头移动产生的驱动力,实现消除Y轴方向的振动,避免引线框架发生振动,导致贴装精度差,不需使用垫片,适用于固晶机的使用。通过读数头与光栅尺配合使用,实现控制系统对直线电机控制配重块移动的加速度与需要的加速度相同,保证其能够消除振动,实现抑振的目的。 |
