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一种高精度洁净易维护的引线框架输送机构

基本信息

申请号 CN202220415578.3 申请日 -
公开（公告）号 CN216773205U 公开（公告）日 2022-06-17
申请公布号 CN216773205U 申请公布日 2022-06-17
分类号 H01L21/677（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 丁琛琦 申请（专利权）人 马丁科瑞半导体技术（南京）有限公司
代理机构 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 代理人 -
地址 211100江苏省南京市江宁区空港经济开发区飞天大道69号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种高精度洁净易维护的引线框架输送机构，包括机构支架、直线电机组、电机支架、输送夹头、直线导轨、读数头、光栅尺；直线电机组件通过电机支架架设在机构支架上，输送夹头经过电机组件驱动与电机支架相对滑动方式连接，连接处设置直线导轨，输送夹头上设置读数头，光栅尺呈条状平行于输送夹头滑动方向设置在电机支架上，输送夹头夹置引线框架，使用读数头与光栅尺相互配合，采用闭环控制，且使用直线电机组件进行驱动，输送精度高；且本装置机械结构简单，不需要使用润滑油进行维护，制造、运行成本较低。