首页/ 马丁科瑞半导体技术（南京）有限公司/ 专利详情

一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构

基本信息

申请号 CN202210246594.9 申请日 -
公开（公告）号 CN114649255A 公开（公告）日 2022-06-21
申请公布号 CN114649255A 申请公布日 2022-06-21
分类号 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 丁琛琦 申请（专利权）人 马丁科瑞半导体技术（南京）有限公司
代理机构 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 代理人 -
地址 211100江苏省南京市江宁区空港经济开发区飞天大道69号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构。包括底板、设置在底板上方的转盘、设置在底板内的调整块、连接底板以及转盘的导轮、设置在转盘上方的张紧座、与张紧座可拆卸连接的晶圆夹组件、环绕在转盘外侧的同步带、以及设置在所述底板上的晶圆台旋转驱动组件、张紧轮组件、传感器组件、拉伸弹簧、张紧驱动组件、传感器推送组件和总光电开关；所述拉伸弹簧连接所述传感器推送组件和张紧驱动组件；本发明实现全自动张紧蓝膜和晶圆角度调整。在通过使用同步带的设计，再配合推顶组件以及传感器组件使晶圆台保持高精度；并且使用方便简单。