一种密封圈及包含其的化学机械抛光装置
基本信息
| 申请号 | CN202121036375.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215110516U | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN215110516U | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | F16J15/3284（2016.01）I;B24B37/00（2012.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 姚力军;潘杰;惠宏业;王学泽;范兴泼 | 申请（专利权）人 | 上海江丰平芯电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王岩 |
| 地址 | 201400上海市奉贤区奉浦工业区奉浦大道111号5楼2427室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种密封圈及包含其的化学机械抛光装置，所述密封圈呈圆环型；所述密封圈自外环向内环依次包括第一平部、第一凸部和第二平部；所述第一凸部为倒U型凸起，所述倒U型凸起下部中空；所述第一平部靠近所述第一凸部的凸起侧设置有第一凹槽；所述第二平部与第一凸部的端部通过圆弧凹槽连接；所述密封圈形成有7区活动密封圈，能够保障在化学机械抛光过程中研磨头内部气压状态与外部隔绝，从而达到精准研磨抛光的效果，包含其的化学机械抛光装置提高了化学机械抛光的精确度，应用前景广阔。 |
