一种保持环研磨装置

基本信息

申请号 CN202120241039.8 申请日 -
公开(公告)号 CN214723327U 公开(公告)日 2021-11-16
申请公布号 CN214723327U 申请公布日 2021-11-16
分类号 B24B37/10(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B27/00(2006.01)I;B24B27/02(2006.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 姚力军;潘杰;惠宏业;王学泽;李力平 申请(专利权)人 上海江丰平芯电子科技有限公司
代理机构 北京远智汇知识产权代理有限公司 代理人 王岩
地址 201400上海市奉贤区奉浦工业区奉浦大道111号5楼2427室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种保持环研磨装置,所述保持环研磨装置包括操作机台、顶盖、支撑组件、旋转传动组件、研磨盘以及研磨垫;所述顶盖设置于操作机台上方,通过支撑组件支撑固定,所述支撑组件垂直设置于操作机台的边缘;所述旋转传动组件垂直并贯穿所述顶盖;所述研磨盘与所述旋转传动组件的下端相连;所述研磨垫置于所述操作机台上;保持环平放于所述研磨垫上。本实用新型通过操作机台、旋转传动组件、支撑组件以及研磨盘的配合,实现了自动施压研磨的功能,使保持环在研磨过程中受力均匀,节省人工的同时保证了研磨的平面度,提高了生产效率,有利于工业化应用。