一种金刚石膜热导率检测方法
基本信息
| 申请号 | CN201510211641.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104914129B | 公开（公告）日 | 2017-10-10 |
| 申请公布号 | CN104914129B | 申请公布日 | 2017-10-10 |
| 分类号 | G01N25/20(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 罗廷礼;蔡云虹;张平伟;张雅淋 | 申请（专利权）人 | 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司;河北平钻人造金刚石有限公司 |
| 地址 | 050081 河北省石家庄市友谊南大街46号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种金刚石膜热导率检测方法，按照下述步骤进行：a、取待检测金刚石膜片；b、将待检测的金刚石膜片在激光切割机上切取样条；c、将样条进行三点抗弯强度检测，求得样条三点抗弯断裂强度Rf值；d、由公式λ=Rf/ A计算出所述金刚石膜片的热导率λ；公式中A为与所述金刚石膜片的制膜工艺相对应的强度‑热导换算比例系数，该比例系数预先经试验得出。本发明利用金刚石膜的三点抗弯断裂强度Rf来快速估算金刚石膜的热导率λ，对测试环境条件要求宽松，检测误差低。采用本发明方法，生产厂家可以对所生产金刚石膜产品快速、低成本的给出热导率λ值，为调整生产工艺提供重要的参考数据，为用户提供产品的热导率参数值。 |
