一种用于微波输能窗口的多晶金刚石厚膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110171912.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112941487A | 公开（公告）日 | 2021-06-11 |
| 申请公布号 | CN112941487A | 申请公布日 | 2021-06-11 |
| 分类号 | C23C16/27;C23C16/511;C23C16/52 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李义锋;安晓明;姜龙;张雅淋;刘晓晨;葛新岗 | 申请（专利权）人 | 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 孟玉寒 |
| 地址 | 050081 河北省石家庄市桥西区友谊南大街46号3号楼319室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于微波输能窗口的多晶金刚石厚膜，所述多晶金刚石厚膜为双层柱状晶结构，其包括第一层金刚石膜和第二层金刚石膜，所述第二层金刚石膜生长在所述第一层金刚石膜的形核面上，所述第一层金刚石膜和第二层金刚石膜的生长面位于两端。本发明采用分步沉积的方法制备形核面位于多层金刚石厚膜内部、而生长面位于两端表面的双层柱状晶结构，制备的多晶金刚石厚膜具有强度高、介电损耗低、内部缺陷少，生长面抗弯强度高的特点，且制备方法沉积效率高。 |
