金刚石单晶生长装置及方法

基本信息

申请号 CN201711243374.6 申请日 -
公开(公告)号 CN107955967A 公开(公告)日 2018-04-24
申请公布号 CN107955967A 申请公布日 2018-04-24
分类号 C30B29/04;C30B25/00 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 刘晓晨;姜龙;郭辉;何奇宇 申请(专利权)人 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司
代理机构 石家庄国为知识产权事务所 代理人 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司
地址 050081 河北省石家庄市友谊南大街46号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及晶体合成技术领域,提供了一种金刚石单晶生长装置及方法。所述装置包括:沉积台和可升降中心柱;所述沉积台上设有沉积台孔,所述可升降中心柱上设有与所述沉积台孔配合的孔柱,所述孔柱设置在所述沉积台孔中。所述装置及方法能够有效地提高金刚石单晶生长质量,解决一次生长不了太厚的问题。