一种具有废气吸收功能的反应装置及其使用方法、应用
基本信息
| 申请号 | CN201610283069.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105862008B | 公开（公告）日 | 2018-10-12 |
| 申请公布号 | CN105862008B | 申请公布日 | 2018-10-12 |
| 分类号 | C23C16/01;C23C16/27 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李义锋;姜龙;安晓明;刘晓晨;郭辉;孙振路 | 申请（专利权）人 | 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人 | 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 |
| 地址 | 050081 河北省石家庄市友谊南大街46号3号楼319 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及薄膜分离技术领域，尤其是涉及一种湿法腐蚀用装置，具体公开了一种具有废气吸收功能的反应装置及其使用方法、应用，该装置包括反应容器和废气处理装置，所述废气处理装置所述废气处理装置包括吸收物料容器和封闭罩，所述反应容器位于吸收物料容器内，所述反应容器与吸收物料容器之间设有封闭罩，所述反应容器封闭在所述封闭罩内，所述封闭罩的下部设有通孔，所述通孔使得吸收物料容器内的废气吸收物料在封闭罩内外的两部分连通。应用本发明装置能够将化学反应过程中产生的有害气体充分吸收，防止对人员和环境造成危害，具有装置结构简单、操作方便、成本低的优点，尤其适用于硅的强酸腐蚀。 |
