一种半导体芯片电特性检测装置
基本信息
申请号 | CN201922106285.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN211206699U | 公开(公告)日 | 2020-08-07 |
申请公布号 | CN211206699U | 申请公布日 | 2020-08-07 |
分类号 | G01R31/26 | 分类 | - |
发明人 | 金明星 | 申请(专利权)人 | 穆棱市北一半导体科技有限公司 |
代理机构 | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 穆棱市北一半导体科技有限公司 |
地址 | 157516 黑龙江省牡丹江市穆棱市经济开发区创业大厦301-303室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种半导体芯片电特性检测装置,包括固定座、支架、滑道、电机固定座、滑动电机、滑杆、滑台、芯片放置槽、检测机构和控制器,所述支架设于固定座上,所述滑道设于支架上,所述电机固定座设于支架侧壁上,所述滑动电机设于电机固定座上,所述滑杆可滑动设于电机固定座上,所述滑杆设于滑动电机输出端上,所述滑台一端设于滑杆顶部,所述滑台另一端可滑动设于滑道内,所述芯片放置槽设于滑台顶部,所述检测机构设于支架顶部且设于芯片放置槽上方,所述控制器设于检测机构上。本实用新型属于电子芯片生产装置技术领域,具体是指一种检测效率高、实时切换检测点、多方位检测的半导体芯片电特性检测装置。 |
