一种多弧型带材真空连续镀膜系统
基本信息
| 申请号 | CN202010106165.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111197156A | 公开（公告）日 | 2020-05-26 |
| 申请公布号 | CN111197156A | 申请公布日 | 2020-05-26 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/32 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王殿儒;田玉波;王百湘;程云立;田源 | 申请（专利权）人 | 唐山中土科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京修典盛世知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王殿儒;唐山中土科技发展有限公司 |
| 地址 | 100086 北京市海淀区北三环西路48号三号楼3B | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种多弧型带材真空连续镀膜系统，该镀膜系统用于卷绕带材的镀膜，所述镀膜系统包括真空室，所述真空室中设置有入口真空锁、电子枪、第一导向轮、滚轮、第二导向轮、移动杆、密封板、多弧离子源、第一真空镀膜仓、第二真空镀膜仓与出口真空锁，所述带材依次穿过所述入口真空锁、第一导向轮、通气口、第一真空镀膜仓或第二真空镀膜仓、滚轮、通气口、第二导向轮与出口真空锁，所述第一真空镀膜仓与第二真空镀膜仓交替用于带材真空镀膜，从而实现连续镀膜。本发明的多弧型带材真空连续镀膜系统通过两个真空镀膜仓交替工作方式以实现真正地真空连续镀膜。 |
