一种低功耗MEMS氢气传感器
基本信息
| 申请号 | CN202023008094.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214041233U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214041233U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | G01N27/16（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 马可贞;沈方平;徐晓苗;吴楠 | 申请（专利权）人 | 苏州芯镁信电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京常青藤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐婧 |
| 地址 | 215128江苏省苏州市吴中区东吴北路8号国裕大厦一期1504-3室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种低功耗MEMS氢气传感器，包括衬底层、下绝缘层、金属丝层和上绝缘层；衬底层表面开隔热槽，下绝缘层覆盖于衬底层上，下绝缘层设有与隔热槽对应的镂空窗口；金属丝层包括贵金属材质的第一金属丝和第二金属丝，第一金属丝为用作敏感单元的裸金属丝，第二金属丝为用作参比单元的、包裹有钝化层的金属丝；该第一金属丝和第二金属丝的两端均设有用于引出信号的焊盘，焊盘固定于下绝缘层与上绝缘层之间；第一金属丝和第二金属丝的中部均设有悬置于隔热槽上方的感测部；上绝缘层覆盖于金属丝层上。本实用新型可解决带支撑结构的低功耗氢气传感器导热损耗大，以及金属材料跟支撑材料间的热失配而损坏结构的问题。 |
