采用金钢线高精度切割的单晶硅片切片机

基本信息

申请号 CN201710371806.5 申请日 -
公开(公告)号 CN107599193A 公开(公告)日 2018-01-19
申请公布号 CN107599193A 申请公布日 2018-01-19
分类号 B28D5/04 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 孙明祥 申请(专利权)人 浙江好亚能源股份有限公司
代理机构 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 代理人 郑文涛
地址 314419 浙江省嘉兴市海宁经编产业园区沧海路188号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及单晶硅切片机领域,公开了一种采用金钢线高精度切割的单晶硅片切片机,包括转辊(2)和金钢线(1),转辊(2)外侧沿转辊(2)的轴向并列设有凸起圆环(201),相邻凸起圆环(201)之间形成嵌槽(202),凸起圆环(201)的环宽为金钢线(1)直径的1.5至2倍,嵌槽(202)的宽度为金钢线1的1.1至1.2倍,金钢线(1)嵌设在嵌槽(202)内。本发明提供了一种采用金钢线高精度切割的单晶硅片切片机,不仅能够防止断线,同时使切出的硅片厚度更加标准,实现高精度切割。