一种用于贴附曝光菲林的玻璃基板装置
基本信息
| 申请号 | CN201821446375.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208689360U | 公开（公告）日 | 2019-04-02 |
| 申请公布号 | CN208689360U | 申请公布日 | 2019-04-02 |
| 分类号 | G03F7/16（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 肖功武 | 申请（专利权）人 | 江西国辉光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄宗熊 |
| 地址 | 343700 江西省吉安市泰和县工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于贴附曝光菲林的玻璃基板装置，它包括一玻璃基板，玻璃基板周围表面上开有槽，玻璃基板上还开有一个通孔，通孔与槽连通，玻璃基板表面覆盖有菲林，槽被菲林完全覆盖，通孔连接一真空泵，通孔与真空泵之间设有一阀门。本实用新型解决曝光菲林贴附效果不佳的问题，从而提高曝光质量，改善图案变形。 |
