一种红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法
基本信息
| 申请号 | CN201710032686.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106698323A | 公开（公告）日 | 2017-05-24 |
| 申请公布号 | CN106698323A | 申请公布日 | 2017-05-24 |
| 分类号 | B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;H01L31/0203(2014.01)I;H01L31/09(2006.01)I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 赵柱;毛海央 | 申请（专利权）人 | 北京芯创睿胜科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 殷红梅 |
| 地址 | 102218 北京市昌平区东小口镇立汤路186号甲龙德紫金3号楼4层421 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种红外吸收结构及集成方法，尤其是一种红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法，具体地说是一种基于烛灰纳米颗粒结构的红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法，属于红外传感探测的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述红外吸收结构，包括衬底以及设置于所述衬底上的烛灰纳米颗粒结构层。本发明利用烛灰纳米颗粒结构层能实现对红外辐射的有效吸收，能在较宽的红外波段内具有较高的吸收效率，制备方法简单，兼容性以及可控性好，在与红外传感器裸芯片集成后，能提高红外探测的精度，集成方法简单，适用范围广，安全可靠。 |
