一种晶元纹理图像周期的自动测量方法和系统

基本信息

申请号 CN201910017997.4 申请日 -
公开(公告)号 CN109781736A 公开(公告)日 2021-07-06
申请公布号 CN109781736A 申请公布日 2021-07-06
分类号 G01N21/88;G06T5/00 分类 测量;测试;
发明人 杨义禄;左右祥;李波;关玉萍 申请(专利权)人 肇庆农村商业银行股份有限公司新桥支行
代理机构 广州维智林专利代理事务所(普通合伙) 代理人 赵晓慧
地址 526238 广东省肇庆市高新区同富裕工业园C栋首、二层和B栋首层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶元纹理图像周期的自动测量方法和系统,包括以下步骤:首先采集到的周期纹理图像进行高斯滤波,已达到过滤信号噪声的目的。接下来对高斯滤波后的图像进行二维快速傅里叶变换,得到图像的频谱和相位,然后对频谱和相位在频域计算自相关。对求取自相关的结果进行求取局部极大值坐标,最后根据极大值坐标求出纹理图像的周期。本发明基于频域自相关的方法快速计算出晶元纹理图像的周期,精度高,速度快,鲁棒性好。