一种光刻版及其实现方法
基本信息
| 申请号 | CN201110000632.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102087470A | 公开（公告）日 | 2011-06-08 |
| 申请公布号 | CN102087470A | 申请公布日 | 2011-06-08 |
| 分类号 | G03F1/14(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 关世瑛;杨忠武;王金秋;赵晖;冷国庆;任宏志 | 申请（专利权）人 | 黑龙江八达通用微电子有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 150078 黑龙江省哈尔滨市开发区迎宾路集中区天平路6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种步进式光刻机的光刻版及其实现方法，该发明结合步进式光刻机的工作特点，采用将光刻版BLOK区(0)中步进叠加区(5)及标记叠加区(2)保护处理，将其套准标记(1)布局在窄的划片线(3)内，不占用主管芯(4)面积，较只能将标记设计在宽的划片线或者是占用主管芯位置的光刻版，可以提高芯片的利用率。 |
