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一种膜状扩散源成型机

基本信息

申请号 CN202010353492.8 申请日 -
公开（公告）号 CN112466746A 公开（公告）日 2021-03-09
申请公布号 CN112466746A 申请公布日 2021-03-09
分类号 H01L21/22(2006.01)I;B05B3/18(2006.01)I;B26D1/40(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 汪良恩;王锡康;姜兰虎;乔建明;王桂芝 申请（专利权）人 山东芯源微电子有限公司
代理机构 山东瑞宸知识产权代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200山东省济南市章丘区清源大街北段路西
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种膜状扩散源成型机，主要涉及半导体膜生产设备技术领域，包括底座、机架，在所述底座上设有成膜传送辊，在所述成膜传送辊一端设有喷涂装置、另一端设有分切装置，在所述喷涂装置一侧设有烘干装置，提高了横梁运动方向的约束，使得运动和行程不易受外部影响，使得喷头在喷涂是更加均匀，既提高了烘干效率，又使水汽能够及时的排出，保证了烘干的质量提高，增加了烘干装置的空间利用度，使得膜烘干过程更加高效、节能和环保，滑动套在导向轴的作用下，使得滑动套底端固接的切刀座上的切刀片在平辊带上进行切割，形成倾斜直线角度切割，调节快速便捷，导向传动的作用较稳定提高膜分切机分切产品质量的稳定性。