首页/ 山东芯源微电子有限公司/ 专利详情

一种半导体膜状扩散源原料防凝装置

基本信息

申请号 CN202110230382.7 申请日 -
公开（公告）号 CN113023127A 公开（公告）日 2021-06-25
申请公布号 CN113023127A 申请公布日 2021-06-25
分类号 B65D88/06;B65D90/00;B65D90/12 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 汪良恩;王锡康;姜兰虎;王桂枝 申请（专利权）人 山东芯源微电子有限公司
代理机构 山东瑞宸知识产权代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200 山东省济南市章丘区清源大街北段路西
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，属于生产成型设备技术领域，包括机架、偏心轮，在所述偏心轮上部设有对称的挡板，在所述挡板侧面上下分别设有上支撑杆、下支撑杆，在所述上支撑杆、下支撑杆端部分别设有张力弹簧、限位块，套筒组件套接在上支撑杆、下支撑杆上的张力弹簧、限位块的中间位置，在所述套筒组件侧面设有轴承座，料桶两端分别置于轴承座上。旋转电机输出端连接转轴，转轴带动偏心轮转动，一方面，料桶两端分别置于轴承座上，能够在轴承座内自转，另一方面，偏心轮转动，在离心力的作用下，料桶两端连接的套筒组件在上支撑杆、下支撑杆滑动，挤压或拉伸张力弹簧，形成摆动，通过摆动和自转防止料桶浆料凝结。