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一种膜成型机压辊横梁装置

基本信息

申请号 CN202020682928.3 申请日 -
公开（公告）号 CN212736763U 公开（公告）日 2021-03-19
申请公布号 CN212736763U 申请公布日 2021-03-19
分类号 B29C43/24(2006.01)I;B29L7/00(2006.01)N;B29C43/32(2006.01)I;B29C43/46(2006.01)I 分类 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工;
发明人 汪良恩;王锡康;姜兰虎;乔建明;王桂芝 申请（专利权）人 山东芯源微电子有限公司
代理机构 山东瑞宸知识产权代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200山东省济南市章丘区清源大街北段路西
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种膜成型机压辊横梁装置，主要涉及半导体膜生产设备技术领域，包括导轨I、导轨V、支架，通过导轨I、导轨V双轨道导向更加稳定，在所述导轨I、导轨V上下均的上导轮、下导轮，实现上下的固定约束导向，通过张紧弹簧、左调轮、右调轮实现水平方向的约束回复，并通过张紧弹簧增加上导轮、下导轮对导轨I或导轨V的摩擦，在所述支架两端和中间轴设有导孔，固定导线穿过导孔固定在膜成型机架上，通过膜成型机架上的固定导线穿过中间轴上的导孔进一步的实现支架的导向固定，提高了支架横梁运动方向的约束，使得运动和行程不易受外部影响，使得喷头在喷涂是更加均匀。