晶圆片同心规整装置
基本信息
| 申请号 | CN202011434611.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112447562A | 公开（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申请公布号 | CN112447562A | 申请公布日 | 2021-03-05 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱赛勇 | 申请（专利权）人 | 苏州天弘激光股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 沈留兴 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区唯亭镇通和路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及晶圆片加工技术领域，公开了一种晶圆片同心规整装置，包括安装板、固定板和规整机构；所述安装板通过支撑轴安装在固定板上；所述安装板靠近固定板的一面上设置有直线导轨；所述直线导轨上设置有滑块；所述固定板底部设置有步进电机；所述安装板中心开设有圆孔，所述圆孔内设置有感应开关；所述安装板上还设置有限制规整机构的限位装置。本发明可使夹紧工件的规整轴同时向心移动，且移动距离完全相等，因而定位精度准确，实现工件的自动夹紧和定心。利用伸出的规整块夹紧，可根据不同的工件设计成不同长短。本装置采用步进电机驱动，代替人工劳作，大大提高了生产效率和加工质量，改善了劳动条件。 |
