一种电子显微镜的自动对焦方法
基本信息
| 申请号 | CN202111598125.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114167594A | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN114167594A | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | G02B21/24（2006.01）I;G02B7/38（2021.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 郑陆一;何涛 | 申请（专利权）人 | 湖南伊鸿健康科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州智斧知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杨银虎 |
| 地址 | 410000湖南省长沙市岳麓区学士街道碧桂园智慧园第13幢103号、104号房屋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种电子显微镜的自动对焦方法，属于显微镜对焦技术领域。所述方法包括一次对焦行程和二次对焦行程，一次对焦行程找出最清晰位置z1及其图像清晰度值fz1max；二次对焦行程过程中，判断当前步进位置的图像清晰度值fv是否满足不等式abs（fv‑fz1max）/fz1max |
