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一种不间断式进片回片装置及控制方法

基本信息

申请号	CN201710356787.9	申请日	-
公开（公告）号	CN108962804B	公开（公告）日	2021-08-10
申请公布号	CN108962804B	申请公布日	2021-08-10
分类号	H01L21/677	分类	基本电气元件;
发明人	彭博;洪旭东	申请（专利权）人	上海芯源微企业发展有限公司
代理机构	沈阳科苑专利商标代理有限公司	代理人	李巨智
地址	201306 上海市浦东新区临港新片区旭日路501号1幢201、202室
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种不间断式进片回片装置，在底部设置LOAD PORT，从左向右依次为第一LOAD PORT、第二LOAD PORT、第三LOAD PORT和第四LOAD PORT，在第一LOAD PORT和第四LOAD PORT的对应上方分别设置第一缓存区和第二缓存区，用于临时存放FOUP缓存；在第一缓存区和第二缓存区的对应上方分别设置出片区和进片区，用于天车取放FOUP；还包括传送机构，用于在LOAD PORT、缓存区、进片区、出片区之间传递FOUP，设置于与LOAD PORT和缓存区所在平面不同且平行的平面内。本发明采用平面内FOUP交换功能，大大提高空间利用率，节省资源；采用双侧单独内循环方式进行循环，增加FOUP利用率；避免由于多单元换片盒时，片盒都空载等待回片而短时间不能进片的影响，实现无间断连续送片。